Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80
上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可达到 71 l/s 涡轮分子泵. HiPace 80 对所有气体的高抽速和更高压缩比使其广泛应用于真空行业. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过控制器监控运算数据尽可能保证分子泵的性. 涡轮分子泵 HiPace 80 可以任意位置安装. 自然风冷, 多种配件可选满足广泛应用.
涡轮分子泵 HiPace 80 特性
稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证
涡轮分子泵 HiPace 80 技术参数
进气口 | DN 63 ISO-K | DN 63 CF-F | DN 40 ISO-KF | DN 63 ISO-K | DN 63 CF-F | DN 40 ISO-KF | |
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分子泵控制器 | 型号 | 标配 | 标配 | 标配 | 选配 | 选配 | 选配 |
抽速 | Ar L/S | 66 | 66 | 30 | 66 | 66 | 30 |
H2 L/S | 48 | 48 | 38 | 48 | 48 | 38 | |
He L/S | 58 | 58 | 41 | 58 | 58 | 41 | |
N2 L/S | 67 | 67 | 35 | 67 | 67 | 35 | |
压缩比 | Ar | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 |
H2 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | |
He | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | |
N2 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | |
全转速时气体流量 | Ar hPa l/s | 0.54 | 0.54 | 0.54 | 0.54 | 0.54 | 0.54 |
H2 hPa l/s | 15.3 | 15.3 | 15.3 | 15.3 | 15.3 | 15.3 | |
He hPa l/s | 2.7 | 2.7 | 2.7 | 2.7 | 2.7 | 2.7 | |
N2 hPa l/s | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | |
极限压力 | hPa | ＜1X10-7 | ＜5X10-10 | ＜1X10-7 | ＜1x10-7 | ＜5x10-10 | ＜1x10-7 |
大预抽真空 | N2 | 22 | 22 | 22 | 22 | 22 | 22 |
电压 | VDC | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 |
大电流 | A | 4.6 | 4.6 | 4.6 | 5.5 | 4.6 | 4.6 |
转速± 2 % | RPM | 90000 | 90000 | 90000 | 90000 | 90000 | 90000 |
声噪 | dB(A) | ≤48 | ≤48 | ≤48 | ≤48 | ≤48 | ≤48 |
允许大磁场 | mT | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 |
启动时间 | min | 1.7 | 1.7 | 1.7 | 3 | 3 | 3 |
重量 | kg | 2.4 | 3.8 | 2.4 | 2.1 | 3.5 | 2.1 |
* 控制器选择 TCP 350, 可以使分子泵在辐射环境中使用
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80 套装:
上海伯东提供完整的分子泵套装供您选择, 包含一台 HiPace 80 分子泵主机和控制电源等, 分子泵套装满足基本的应用, 可以安装在所有情况下并轻松调试涡轮分子泵. 套装内配置如下:
分子泵 | 分子泵电源与控制器连接线 | 风扇 | OmniControl 200 | 接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m |
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| 接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m |
分子泵应用 HiPace 80
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工业: 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造
研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术
上海伯东客户分子泵应用一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长.
上海伯东客户分子泵应用二：HiPace 80, HiPace 300 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备.JPG)
上海伯东客户分子泵应用三: HiPace 80, HiPace 300 用于自主搭建真空腔体.JPG)
涡轮分子泵 HiPace 80 目前在售型号：
分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 40 ISO-F
分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 Profibus DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 Profibus DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 Profibus DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 电源 OPS 70 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 电源 OPS 70 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 电源 OPS 70 DN 40 ISO-KF
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