扩散炉--管式扩散炉

一、管式扩散炉用途
管式扩散炉是我公司根据客户需求个性化定制的高温热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，我公司的高温电炉关键部件全部采用进口部件，仿国外热处理制造技术，已经被中科院、国内各大院校、国内多家厂家选为长期供货商，团队设计制造，可根据客户不同需求定制，厂家直接供货，质优价廉。
 

二、管式扩散炉特点  

◆软着陆载片装置

软着陆送料装置，避免了SiC桨的遮挡影响，提高了扩散均匀性，同时桨的清洗周期大幅度延长。

◆温度控制

新型炉体设计，提高了温度稳定性；配合温控仪的使用，保证工艺过程中温度的快速稳定。

◆进口元器件组合

关键件采用进口管件，且为半导体级别；的元器件组合，从而保证成膜质量。
         

三、管式扩散炉主要技术参数                             

◆工艺管数量：1-4管

◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）

◆工作温度范围：400～1280℃

◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm

◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）

◆气体流量设定精度:±1％F.S

◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s

◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房） 噪音：≤62dB（A） 震动：≤3μm

◆控制方式： 工业微机控制

◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制

我公司可根据客户要求，定制各式扩散炉、退火炉、烧结炉、真空焊接炉、CVD

炉、加热电炉及加热装置等，欢迎广大客户来电咨询。