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供应蓝宝石基片CMP浆料

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详细信息

蓝宝石基片CMP浆料

   蓝宝石基片CMP浆料是本公司所生产的高纯度抛光浆料,具有粒径分散度低、稳定性好、浓度高、可循环使用等特点用于蓝宝石基片进行软抛加工,能够实现晶片移除率高,表面平整度高、粗糙度低,表面无麻点、腐蚀坑等微缺陷,多项参数达到国际先进水平。

    主要用于246英寸等蓝宝石衬底片的高质量平整化精加工工艺。

 

 

【产品参数】

检测项目产品型号UPNM/SPS-LJ-1601UPNM/SPS-LJ-1602外观乳白色液体乳白色液体固含量(%)40±140±1pH值(25℃)>9>9粒径(nm)100-120100-120粘度(25℃,cP)<5<5密度(25℃,g/mL)1.27-1.311.27-1.31氧化钠(%)<0.3<0.4

 

 

注意事项

    1、抛光浆料使用过程中尽量避免直接暴露,防止污染物进入浆料中造成划伤。

    2、冬季气温较低(<5)时,浆料不可放置室外,需存放在恒温仓库,一旦发生凝胶将不可使用。

    3、浆料使用过程中需要及时清洗管路和器具,避免浆料长期残留在管路和容器中造成凝胶,引起晶片表面划伤。

    4、浆料循环使用时,需要在管口添加过滤装置,以免发生凝胶而又反复应用造成晶片表面划伤。

运输及保存

    1、运输与存放温度为5-4025为佳存放温度,存放时应避光,以避免浆料变质。

    2、保质期一年,建议半年内使用。

    3、避免金属、颗粒污染,避免强电解质的接触。

包装规格

    25kg/桶,可根据客户要求提供包装。

关键词: 蓝宝石基片CMP浆料


联系方式
  • 联系人: 陈艳红 先生
  • 电话: 0531-85600541
  • 真: 0531-85603017
  • 手机: 15965229684
  • 地址: 山东省 济南市 济南市天桥区新材料产业园舜兴路中段926号
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